英福康殘余氣體分析儀

簡(jiǎn)要描述：英福康殘余氣體分析儀Transpector CPM RGAINFICON CPM RGA(殘余氣體分析儀）是一臺(tái)多功能、輕便、高性能氣體分析儀，理想地用于現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)復(fù)雜的過(guò)程。

產(chǎn)品分類

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詳細(xì)介紹

品牌	Inficon/英福康	產(chǎn)地	進(jìn)口
加工定制	否

英福康殘余氣體分析儀的功能

應(yīng)用于ALD、蝕刻、CVD ，對(duì)殘余氣體進(jìn)行過(guò)程監(jiān)測(cè)和分析

測(cè)量速度為每點(diǎn) 1.8 ms（每秒 555 點(diǎn)）

在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的耐久性和可靠性

應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 提供支持，是一款強(qiáng)大的過(guò)程監(jiān)測(cè)與診斷工具

緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

Hexblock™ 含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以小化表面反應(yīng)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間

電容隔膜計(jì) (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測(cè)過(guò)程壓力，并自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移

自動(dòng)校準(zhǔn) — 確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配

用戶*性

INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)早期報(bào)警:

■ 測(cè)量氣相反應(yīng);

■ 驗(yàn)證真空的完整性;

■ 鑒別痕量污染物;

■ 測(cè)量過(guò)程與本底的組分;

■ 定性氣體純度。

INFICON/英福康殘余氣體分析儀的 Transpector CPM RGA

1.使用總壓強(qiáng)鏡頭獲得的離子源壓強(qiáng)讀數(shù)@低發(fā)射

2.總壓強(qiáng)準(zhǔn)確度@低發(fā)射

3.離子源大工作壓強(qiáng)@低發(fā)射

4.2x10-4Torr的離子源將在四極區(qū)域產(chǎn)生大約1x10-5Torr的壓強(qiáng)

5.EM開(kāi)啟且保壓時(shí)間為1秒時(shí)離子源處的MDPP

6.質(zhì)量數(shù)40對(duì)41 AMU的貢獻(xiàn)

7.零沖擊對(duì)2 AMU的貢獻(xiàn)

8.空氣中的氪的最小可檢出濃度@ 1秒保壓時(shí)間

9.適用于1 Torr孔板或更低設(shè)置。0.1至2倍標(biāo)稱孔板壓強(qiáng)條件下的線性@低發(fā)射

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